|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ВЗАИМОСВЯЗЬ СПОСОБОВ ПОЛИРОВКИ МОЛИБДЕНОВЫХ ЗЕРКАЛ С ИХ ОПТИЧЕСКОЙ СТАБИЛЬНОСТЬЮ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЧИСТЯЩЕЙ D2–N2 ПЛАЗМЫстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 февраля 2021 г.
- Авторы: Городецкий А.Е., Маркин А.В., Буховец В.Л., Войтицкий В.Л., Рыбкина Т.В., Залавутдинов Р.Х., Золотаревский В.И., Захаров А.П., Архипушкин И.А., Казанский Л.П., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Самсонов Д.С., Мухин Е.Е.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 10
- Год издания: 2020
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 12
- Последняя страница: 26
- Переводные версии: Effect of Techniques for Polishing Molybdenum Mirrors on their Optical Stability under Cleaning D2–N2 Plasma
- DOI: 10.31857/S1028096020100088
- Аннотация: Исследовано влияние чистящей D2–(2–4) моль % N2 плазмы тлеющего разряда на отражательную способность монокристаллических зеркал Мо(111). Поверхность каждого зеркала готовилась механической полировкой алмазными пастами или свободным алмазным порошком. Полировка зеркал сопровождалась формированием слоя материала толщиной до 3 мкм, отличного по структуре от остального объема металла. Особенностью этого слоя являлось постепенное, по мере удаления от поверхности зеркала, совершенствование его структуры и переход от аморфного слоя к слою с нанометровыми размерами кристаллитов и далее к постепенной трансформации в структуру неразрушенного монокристалла. При полировке происходило вдавливание алмазного абразива в поверхностный слой зеркала. В процессе плазменной чистки вдавленные в поверхностный слой зеркала углеродные частицы инициировали развитие отрицательной шероховатости (ямок или углублений). Одновременно формировался слой нитрида молибдена, толщиной 5–10 нм. В разупорядоченных слоях зеркал вероятность процесса зарождения и роста блистеров была понижена. В качестве металла, изменяющего коэффициент полного отражения Мо, был выбран алюминий. Использование смеси D2–N2 для повышения скорости распыления Al на последнем этапе чистки заменялось плазменной экспозицией в дейтерии ионами D3+, инициирующими диссоциацию нитрида молибдена и удаление азота из поверхностного слоя зеркала. В результате длительного плазменного воздействия отражательная способность зеркал, полированных алмазной пастой увеличивалась до стационарного значения близкого к отражению от эталонного зеркала.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович