Способность нафтохинондиазидных фоторезистов к экзотермическому разложениюстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 апреля 2021 г.
Аннотация:Для двух полупродуктов позитивных фоторезистов (1,2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфокислоты моно-натриевой соли и 1,2-нафтохинондиазид-(2)-5-сульфохлорида) экспериментально и расчетным методом определена температура интенсивного экзотермического разложения твердых органических веществ - показатель, характерный для веществ, склонных к взрывчатому превращению. Для каждого из образцов впервые определены значения энергии активации процесса термолиза, величины экзотермических эффектов данного процесса, энтальпии образования в твердой фазе. С помощью экспериментальных и расчетных методов установлено, что оба вещества относятся к группе веществ, склонных к экзотермическому разложению, поэтому представляют повышенную опасность при получении, применении и транспортировке.