Аннотация:Исследована корреляция ошибок при различных стратегиях широкополосного оптического контроля процесса напыления многослойных покрытий, включая стратегии со сменными чипами мониторинга. Показана необходимость учета эффекта самокомпенсации ошибок при обсуждении вопроса о выборе стратегии контроля. Результаты проведенного исследования могут быть использованы для выбора наиболее перспективной стратегии контроля для заданного типа многослойных покрытий.