Аннотация:Представлены результаты комплексного исследования структурного состояния, химического состава, микромеханических и трибологических свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней.Установлено, что трибологические свойства этих покрытий существенно выше, чем PACVD покрытий, легированных кремнием и кислородом;покрытия, полученные в смеси с содержанием азота, близком 40 об. %, обладают высоким сопротивлением фрикционной усталости в условиях тяжело нагруженного контакта, а углерод, присутствующий в них имеет алмазоподобную структуру; покрытия, полученные в чистом азоте, имеют аморфную структуру.