Измерение проводимости ультратонких пленок платины в СВЧ диапазоне

Андреев, В.Г.; Вдовин, В.А.; Глазунов, П.С.; Васильев, А.Б.; Пинаев, Ю.В.; Хорин, И.А.; Черепенин, В.А.

Авторы: Андреев В.Г., Вдовин В.А., Глазунов П.С., Васильев А.Б., Пинаев Ю.В., Хорин И.А., Черепенин В.А.
Журнал: Доклады Российской академии наук. Физика, технические науки
Том: 495
Номер: 6
Год издания: 2020
Издательство: Российская академия наук
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 78
Последняя страница: 83
DOI: 10.31857/S2686740020060036
Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения и пропускания пленок платины толщиной 1 – 30 нм, изготовленных на кварцевых подложках методом магнетронного распыления. Измерения проводились в прямоугольном волноводе на частотах 9 - 11 ГГц. При падении волны на пленку Pt со стороны кварцевой подложки (Q-Pt ориентация) отмечено увеличение максимального значения коэффициента поглощения (Amax=0.45), а также наличие явно выраженного минимума коэффициента отражения (Rmin=0.23) при толщине пленки 3 нм. Для пленок толщиной менее 10 нм измеренные значения вполне соответствуют модельной зависимости удельной проводимости от толщины. Расчеты удельной проводимости пленок Pt от толщины проведены с использованием приближенных граничных условий и измеренных значений коэффициента отражения.
Добавил в систему: Андреев Валерий Георгиевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Измерение проводимости ультратонких пленок платины в СВЧ диапазонестатья

Прикрепленные файлы