Аннотация:Приведены результаты исследования, методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, формирования химического состава поверхностных слоев титана с напыленной пленкой алюминия после ионно-лучевого перемешивания. При выбранных параметрах ионного облучения происходит перемешивание пленок алюминия толщинами 10 и 20 нм с подложкой из титана, сопровождающееся образованием соединений TiAl.