Анализ состава слоев, образующихся на подложках из нержавеющей стали при газофазном осаждении танталастатьяИсследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 сентября 2021 г.
Аннотация:Проанализировано взаимодействие реагентов и материала подложки из нержавеющей стали при осаждении покрытий из тантала восстановлением бромида тантала кадмием. Установлено, что при температурах осаждения выше 1000 K присутствующие в нержавеющей стали железо и хром будут восстанавливать пентабромид тантала, переходя в газовую фазу в виде бромидов. В результате, на подложке происходит не только восстановление бромида тантала, но и бромида железа, что на начальных этапах осаждения приводит к формированию в покрытии подслоя, содержащего железо. Увеличение взаимодействующей с реагентами контактной поверхности нержавеющей стали приводит к росту содержания бромида железа, и в этом случае формируется покрытие из смеси Ta + Fe2Ta. Кроме того, на подложке образуется бромид хрома, который удаляется вместе с остальными продуктами реакции, что вызывает обеднение хромом поверхностных слоев стали.