|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Formation of metal electrodes with a nanoscale separation using an evaporated resistтезисы доклада
- Авторы: Dagesyan S., Zharik G., Soldatov E.
- Сборник: Intenational Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2016", ICMNE 2016, October 3-7, “Ershovo” resort, Moscow - Zvenigorod, Russia, Book of Abstracts
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Место издания: Institute of Physics and Technology of the RAS, Москва
- Первая страница: 173-P2-07
- Аннотация: Разработан метод изготовления предельно малых металлических наноструктур с использованием коммерчески доступного низкомолекулярного полистирола в качестве негативного резиста для электронной литографии, наносимого методом термического испарения. Метод позволяет формировать структуры с высоким (5÷10нм) пространственным разрешением на поверхности произвольной формы и демонстрирует высокий процент выхода годных образцов. Разработаны технологические процессы и приведены их параметры для изготовления массивов параллельных полосок, точек, сходящихся электродов и электродов с нанозазорами. Продемонстрирована возможность создания наноструктур на острие кантилевера сканирующего зондового микроскопа.
- Добавил в систему: Солдатов Евгений Сергеевич