Sputtering of silicon by atomic and cluster bismuth ions: An influence of projectile nuclearity and specific kinetic energy on the sputter yieldстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 июня 2021 г.