|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Измерение длины объектов на изображениях сканирующего зондового микроскопа с помощью детекторов кривизныстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Автор: Гуляев Павел Валентинович
- Журнал: Измерительная техника
- Номер: 1
- Год издания: 2021
- Издательство: Стандартинформ
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 21
- Последняя страница: 26
- DOI: 10.32446/0368-1025it.2021-1-21-26
- Аннотация: Рассмотрена задача автоматического определения продольных размеров объектов на изображениях, полученных с помощью зондовой микроскопии. Решение данной задачи может быть актуально в области производственного контроля материалов и изделий микроэлектроники, нанотехники. Проведено сравнение существующих инструментов измерения длины объектов на тестовом изображении, содержащем геометрические фигуры с известными размерами. Описаны преимущества измерения длин объектов непосредственно на полутоновом изображении посредством формирования остова объекта программным детектором кривизны поверхности, в частности программным двумерным детектором «Круг», основанном на анализе кривизны строчных и столбцовых профилограмм растра изображения. Кривизну оценивали по площади фигуры, ограниченной профилограммой на определённом интервале. Рассмотрены особенности измерения длины объектов посредством формирования остова из локальных максимумов кривизны. Показано, что детектор кривизны позволяет точнее определять длины объектов с перекрывающимися контурами и значительным диапазоном яркости. Представлены алгоритмы работы детектора, формирования остова объекта и определения его длины. Приведены результаты исследований, подтверждающие работоспособность представленных алгоритмов. Сравнительный анализ с существующими инструментами измерения длин, выполненный на изображениях доменов магнитного диска и волокон нанополимера, показал корректную работу детектора по выделению остова объекта и измерению его длины.
- Добавил в систему: Гуляев Павел Валентинович