|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Optical properties of thin films formed by carbon deposition in methane plasma and subsequent annealingстатья
- Авторы: Neustroev Efim P., Prokopiev Aisen R., Popov Vasiliy I., Protopopov Fedor F., Semenov Semen O.
- Сборник: 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MATHEMATICAL MODELING: Dedicated to the 75th Anniversary of Professor V.N. Vragov
- Год издания: 2021
- Издательство: OAE Publishing Inc.
- Местоположение издательства: United States
- DOI: 10.1063/5.0042175
- Добавил в систему: Протопопов Федор Федорович