|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Research of Properties of a Carbon Film Formed in Methane Plasma and the Following Annealingстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 сентября 2021 г.
- Авторы: Neustroev E.P., Prokopyev A.R., Semenov S.O., Popov V.I., Protopopov F.F., Andreev A.S., Savvinova N.A., Lukin E.S.
- Журнал: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering
- Том: 1079
- Номер: 4
- Год издания: 2021
- Издательство: -
- Местоположение издательства: Krakow
- Первая страница: 042086
- Последняя страница: 042086
- DOI: 10.1088/1757-899x/1079/4/042086
- Добавил в систему: Протопопов Федор Федорович