|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
The charging of PMMA-film resist in electron beam lithographyтезисы доклада
- Авторы: Evstafjeva E.N., Knjazev M.A., Rau E.I., Svintsov A.A., Tatarintsev A.A., Zaitsev S.I.
- Сборник: International Conference “Micro- and Nanoelectronics – 2012”. Abstr. Book
- Тезисы
- Год издания: 2012
- Место издания: Moscow-Zvenigorod, Russia, 1-5 October
- Первая страница: P2-25
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич