|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Electron-beam diagnostics microtomography and spectroscopy of microelectronics device structuresтезисы доклада
- Авторы: Orlikovsky N.A., Rau E.I., Tatarintsev A.A.
- Сборник: 37th International Conference on Micro and Nano Engineering
- Тезисы
- Год издания: 2011
- Первая страница: 77
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич