|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Computer calculation of angular dependence of sputtering fine structureстатья
- Авторы: Eltekov V.A., Samoylov V.N., Yurasova V.E., Bukhanov V.M.
- Сборник: Contributed Papers of XVI International Conference on Phenomena in Ionized Gases, Dusseldorf, Fed. Rep. of Germany, 29 August - 2 September 1983
- Том: 2
- Год издания: 1983
- Место издания: University of Dusseldorf, Dusseldorf, Germany
- Первая страница: 282
- Последняя страница: 283
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич