|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование распыления грани (111) тонкой пленки монокристалла кремния методом машинного моделированиястатья
- Авторы: Негребецкая Н.Н., Эльтеков В.А., Юрасова В.Е.
- Сборник: Взаимодействие ионов с поверхностью. Материалы ХI конференции. Звенигород
- Том: 1
- Год издания: 1993
- Место издания: Московский инженерно-физический институт Москва
- Первая страница: 125
- Последняя страница: 127
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич