|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Наноэлектромеханическая система на основе подвешенного нанопроводатезисы доклада
- Авторы: Дорофеев А.А., Божьев И.В., Преснов Д.Е., Креупенин В.А.
- Сборник: Физика полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике: тезисы докладов 18-й всерос. молод. конф. 28 ноября - 2 декабря 2016 года
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Место издания: Изд-во Политехн. ун-та Санкт-Петербург
- Первая страница: 108
- Аннотация: Авторами разработан метод изготовления нанорезонатора на основе подвешенного нанопровода. Структура изготавливалась на основе пластины кремния на изоляторе (КНИ). С помощью электронно-лучевой литографии и реактивно-ионного травления в верхнем слое кремния формировалась структура нанопровода и управляющих электродов. Для подвешивания нанопровода, слой оксида кремния под структурой нанорезонатора удалялся в растворе буферированной плавиковой кислоты (BHF). Металлизация поверхности структуры производилась с помощью электронно-лучевой литографии и электронно-лучевого напыления слоев металла (Cr/Al). Для определения резонансной частоты наномеханического резонатора выбран магнитодвижущий метод, который заключается в следующем: образец помещается в постоянное однородное магнитное поле, и через нанопровод пропускается высокочастотный переменный ток. Вблизи резонансной частоты фиксировался характерный провал коэффициента прохождения высокочастотного сигнала через нанопровод. Определенные магнитодвижущим методом резонансные частоты (f1 = 32,46 МГц, f2 = 71,99 МГц) изготовленных образцов с достаточно высокой точностью согласуются с теорией Эйлера-Бернулли.
- Добавил в систему: Божьев Иван Вячеславович