|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Correlated Choice of Design and Monitoring Strategyстатья
- Авторы: Tikhonravov A.V., Trubetskov M.K., Kozlov I., Alekseev S., Konotopov P., Zhupanov V.
- Сборник: Optical Interference Coatings, M. Tilsch and D. Ristau, eds., OSA Technical Digest (online)
- Год издания: 2013
- Издательство: Optical Society of America
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: WB.3
- DOI: 10.1364/OIC.2013.WB.3
- Аннотация: Previously elaborated indirect monitoring strategy is modified in order to raise an accuracy of layer thickness monitoring. This strategy is applied for deposition of a specially chosen hot mirror design with no thin layers.
- Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович