АСМ-исследования наночастиц, формирующихся при модифицировании поверхности кремния фемтосекундными лазерными импульсамистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 мая 2015 г.
Аннотация:Методом атомно-силовой микроскопии показано, что наночастицы, образующиеся при воздействии фемтосекундных лазерных импульсов на поверхность монокристаллического и пористого кремния, имеют латеральный размер от нескольких десятков до 200 нм и высоту от 2 до 30 нм. Получены зависимости размеров и поверхностных концентраций наночастиц от остаточного давления, демонстрирующие влияние газовой атмосферы на их формирование.