|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Comprehensive simulation of SEM images taking into account local and global electromagnetic fieldsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 мая 2015 г.
- Авторы: Babin Sergey, Borisov Sergey S., Ito Hiroyuki, Ivanchikov Andrei, Matison Dmitri, Militsin Vladimir, Suzuki Makoto
- Сборник: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Год издания: 2010
- Первая страница: 77290W
- Последняя страница: 77290W-6
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич