Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
CD-SEM and e-beam defect inspection of high-aspect ratio contact holes: measurement and simulation of precharge
статья
Авторы:
Babin S.
,
Borisov S.
,
Kwon G.
,
Lee C.H.
,
Oh J.H.
,
Mun D.Y.
,
Yoo H.W.
Сборник:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Год издания:
2012
DOI:
10.1117/12.916441
Добавил в систему:
Борисов Сергей Сергеевич