Аннотация:Методом атомно-силовой микроскопии проведены исследования поверхности диффузионных фильтров-мембран сплава на основе палладия . Мембранный сплав востребован в процессахсепарации водорода высокой степени чистоты, поэтому в работе исследована поверхность мембран до гидрирования и после него. До гидрирования определена относительно гладкая поверхность мембранного фильтра и установлено наличие микрообластей локального повышениятвердости, окруженных значительной дислокационной плотностью. Установлено, что обратимое легирование мембранного сплава водородом не устранило наличия указанных областей. Выявлено диспергирование структуры поверхности диффузионных фильтров-мембран в результате водородного воздействия