|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
TSF-MOCVD – a novel technique for chemical vapour deposition of oxide thin films and layered heterostructuresстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 апреля 2022 г.
- Авторы: Кауль А.Р., Nygaard R., Ратовский В.Ю., Васильев Александр Леонидович
- Журнал: Конденсированные среды и межфазные границы
- Том: 23
- Номер: 3
- Год издания: 2021
- Первая страница: 396
- Последняя страница: 405
- DOI: 10.17308/kcmf.2021.23/3531
- Аннотация: A new principle for supplying volatile precursors to MOCVD gas-phase chemical deposition systems is proposed, based on a two-stage evaporation of an organic solution of precursors from a soaked cotton thread, which passes sequentially through the zones of evaporation of the solvent and precursors. The technological capabilities of TSF-MOCVD (Thread-Solution Feed MOCVD) are demonstrated based on examples of obtaining thin epitaxial films of СеО2, h-LuFeO3 and thin-film heterostructures β-Fe2O3/h-LuFeO3. The results of studying the obtained films by X-ray diffraction, energy dispersive X-rayanalysis, and high- and low-resolution transmission microscopy are presented. Using the TSF module, one can finely vary the crystallisation conditions, obtaining coatings of the required degree of crystallinity, as evidenced by the obtained dependences of the integral width of the h-LuFeO3 reflection on the film growth rate. Based on the TEM and XRD data, it was concluded that β-Fe2O3 grows epitaxially over the h-LuFeO3 layer. Thus, using TSF-MOCVD, one can flexibly change the composition of layered heterostructures and obtain highly crystalline epitaxial films with a clear interface in a continuous deposition process
- Добавил в систему: Nygaard Roy
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | document.pdf | 3,7 МБ | 14 сентября 2021 [Roy_Nygaard] |