|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Микроструктуры на основе регулярных трековых мембран и их нелинейно-оптическая диагностикатезисы доклада
- Авторы: Асадчиков В.Е., Бедин С.А., Васильев А.Б., Гордиенко В.М., Дьячкова И.Г., Минаев Н.В., Назьмов В.П., Андреев А.В., Коновко А.А., Потёмкин Ф.В., Мигаль Е.А.
- Сборник: Объединенная конференция "Электронно-лучевые технологии и ренгеновская оптика в микроэлектронике" КЭЛТ-2021
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: ООО "ФУТУРИС ПРИНТ" Москва
- Первая страница: 228
- Последняя страница: 230
- Аннотация: Работа посвящена проблеме создания новых микро- и наноструктурированных функциональных материалов. К настоящему времени были разработаны методы получения пористых полимерных микро-структур, на основе которых создавались темплейтные металлические структуры. В данной работе регулярные мембраны получались с использованием облучения полимерной пленки на синхротронной станции «Глубокая рентгеновская литография», установленной на канале источника СИ ВЭПП-3, через маску и последующего химического травления зон деструкции. Создавались пленки с регулярными зонами облучения, направленными перпендикулярно поверхности через маску в виде титановой мембраны толщиной 2 мкм. Расстояние между центрами периодически расположенных отверстий в маске составляло 2,9 мкм, а диаметр самих отверстий – 1 мкм.
- Добавил в систему: Коновко Андрей Андреевич