|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Особенности изменения рельефа поверхности мембранного диффузионного фильтра в результате взаимодействия с водородомтезисы доклада
- Авторы: Акимова О.В., Терешина И.С., Каминская Т.П., Попов В.В.
- Сборник: Тезисы докладов объединённой конференции “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике”
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Место издания: ИПТМ РАН г. Черноголовка
- Первая страница: 60
- Аннотация: От изменений морфологии поверхности мембранных диффузионных фильтров и состояния подсистем дефектов зависят водородопроницаемость диффузионных фильтров, надежность работы и степень чистоты получаемого с их участием водорода. Указанные факторы обусловили актуальность исследований влияния водородного воздействия на изменение состояния рельефа поверхности мембранных диффузионных фильтров и сформировали задачи настоящей работы по изучению кинетики морфологии поверхности металлической системы
- Добавил в систему: Акимова Ольга Владимировна