Физические процессы в маломощном индуктивном источнике плазмыв слабом внешнем магнитном полестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 апреля 2022 г.
Аннотация:Исследовано влияние внешнего магнитного поля с индукцией менее 150 Гс на картинувложения мощности в маломощный индуктивный разряд и на структуру продольныхВЧ-полей в плазме разряда. Показано, что вложение ВЧ-мощности в разрядную плазму,а также распределения амплитуды и фазы продольной компоненты магнитногоВЧ-поля вдоль оси системы немонотонно зависят от величины магнитного поля.