Аморфизация кремниевых нанонитей при облучении ионами аргона

Авторы: Кононина А.В., Балакшин Ю.В., Гончар К.А., Божьев И.В., Шемухин А.А., Черныш В.С.
Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
Том: 48
Номер: 2
Год издания: 2022
Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 11
Последняя страница: 14
DOI: 10.21883/PJTF.2022.02.51912.18989
Аннотация: Проведено облучение кремниевых нанонитей ионами Ar+ c энергией 250 keV и флюенсами от 1Е13 до 1Е16 сm−2. Методом комбинационного рассеяния света исследована зависимость степени разупорядоченности структуры под действием ионного облучения от флюенса. Показано, что аморфизация пористого кремния происходит при больших значениях числа смещений на атом, чем в тонких пленках кремния.
Добавил в систему: Балакшин Юрий Викторович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА