|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследования воздействия лазерного излучения на параметры пленок оксида алюминия, осаждаемых в процессе атомно-слоевого осаждениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Киреев В.Ю., Клементе И.Э., Мяконьких А.В., Руденко К.В.
- Журнал: Российские нанотехнологии
- Том: 13
- Номер: 9-10
- Год издания: 2018
- Издательство: НИЦ «Курчатовский институт»
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 51
- Последняя страница: 57
- DOI: 10.1134/S1992722318050072
- Аннотация: Проведены исследования влияния воздействия лазерного излучения с длиной волны 970 нм и плотностью мощности в диапазоне 0,29-2,10 Вт/см2 на процесс атомно-слоевого осаждения (АСО) пленок оксида алюминия из прекурсоров: триметилалюминий (ТМА) + пары воды. Лазерное облучение осуществлялось на стадиях откачки реактора после подачи прекурсоров. В результате комплексных исследований на основе спектральной эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и вторичной ионной масс-спектрометрии показано, что лазерное облучение: - не изменяет скорость осаждения пленок оксида алюминия на кремниевые пластины; - не изменяет поверхностный рельеф (шероховатость) на облученных и не облученных участках пленок оксида алюминия; - не изменяет химический состав облученных и не облученных пленок оксида алюминия по глубине; - уменьшает на 5,0-10% среднюю плотность пленок оксида алюминия на облученных участках по сравнению с необлученными участками.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна