Исследование влияния операционных параметров процесса PECVD на характеристики пленок диоксида кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 апреля 2022 г.
Аннотация:Исследованы ключевые параметры пленки оксида кремния: скорость роста, механические напряжения и показатель преломления. Влияние операционных параметров на скорость роста пленки оценивалось по толщине пленки, которая определялась с помощью эллипсометра. Механические напряжения рассчитывали по разработанной авторами ранее методике на основании изгиба пластины. Определены оптимальные операционные параметры для формирования пленок плазмохимического оксида кремния, позволяющие изготавливать малонапряженные структуры материала.