|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Обработка поверхности материалов потоками ускоренных газовых кластерных ионовтезисы доклада Тезисы
- Авторы: Киреев Д.С., Беляев М.Е., Пушко П.А., Левенков С.М., Ракитин В.О., Иешкин А.Е.
- Сборник: СБОРНИК ТЕЗИСОВ ДОКЛАДОВ XXII МЕЖВУЗОВСКОЙ МОЛОДЕЖНОЙ НАУЧНОЙ ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ ИМЕНИ Б. С. ИШХАНОВА «КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ЭНЕРГИИ В КОСМИЧЕСКОЙ ТЕХНИКЕ ЭЛЕКТРОНИКЕ, ЭКОЛОГИИ И МЕДИЦИНЕ» 22-23 ноября 2021 г
- Том: 78
- Тезисы
- Год издания: 2021
- Издательство: Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 121
- Последняя страница: 122
- Аннотация: Ионно-пучковые технологии обработки материалов в настоящее время широко применяются для нужд микроэлектроники, фотоники, создания тонкопленочных структур. Одним из современных направлений является использование потоков ускоренных газовых кластерных ионов. Такой ион может содержать от сотен до нескольких тысяч атомов и переносить заряд, равный одному или нескольким элементарным. После ускорения кластерного иона напряжением в десятки кВ кинетическая энергия, приходящаяся на каждый атом кластера, составляет всего несколько единиц эВ. Это обуславливает необычные характеристики процессов, происходящих при столкновении кластера с поверхностью твердых тел. В докладе представлены результаты экспериментов по сглаживанию рельефа поверхности SiC пучками кластерных ионов Ar и Xe. Показана возможность создания упорядоченного нанорелефа на поверхности металлов посредством облучения кластерными ионами Ar.
- Добавил в систему: Киреев Дмитрий Сергеевич