Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Исследование состояния приповерхностного слоя полированных кремниевых подложек методом рентгеновской рефлектометрии в зависимости от методов их очистки
статья
Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Авторы:
Волковский Ю.А.
,
Серегин А.Ю.
, Фоломешкин М.С.,
Просеков П.А.
,
Павлюк М.Д.
,
Писаревский Ю.В.
,
Благов А.Е.
,
Ковальчук М.В.
Журнал:
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
Номер:
9
Год издания:
2021
Издательство:
ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
40
Последняя страница:
48
Добавил в систему:
Львов Кирилл Вячеславович