|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Wafer mapping for stepper effects characterizationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 мая 2017 г.
- Авторы: Zhang Yuan, Carpio Ronald A., Wagner Lucian, Golubtsov Peter V.
- Сборник: Proc. SPIE
- Серия: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XIII
- Том: 3677
- Год издания: 1999
- Место издания: SPIE-Intl Soc Optical Eng
- Первая страница: 250
- Последняя страница: 254
- DOI: 10.1117/12.350812
- Добавил в систему: Голубцов Петр Викторович