|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотомстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Городецкий А.Е., Маркин А.В., Буховец В.Л., Золотаревский В.И., Залавутдинов Р.Х., Бабинов Н.А., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
- Журнал: Журнал технической физики
- Том: 91
- Номер: 2
- Год издания: 2021
- Издательство: Наука
- Местоположение издательства: СПб.
- Первая страница: 299
- Последняя страница: 307
- Переводные версии: The Topography of Surface and Light Transmission by Quartz Windows after Exposure in a High-Frequency Discharge in Deuterium and Mixture of Deuterium with Nitrogen
- DOI: 10.21883/jtf.2021.02.50366.180-20
- Аннотация: Исследовано влияние высокочастотного разряда на изменение топографии поверхности оптического кварца КУ-1 и пропускание видимого света (400−1000 nm). Рабочими газами разряда являлись D2 и смесь D2/N2, в которой доля N2 составляла 25 mol%. Добавление азота увеличивало скорость распыления с 60 до 300 nm/h при сохранении стехиометрии поверхностных слоев. После экспозиции в плазме среднеквадратичная шероховатость поверхности уменьшалась с 1.3 до 0.6 nm. Прозрачность кварца не изменилась. Анализ шероховатости и расчет диффузного рассеяния света с длиной волны 400 nm, прошедшего сквозь кварц, выполнены с использованием функций спектральной плотности мощности.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович