|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Атомно-силовая микроскопия для электроникистатья
- Автор: Каминская Т.П.
- Журнал: Производство электроники:технологии. оборудование, материалы
- Номер: 6
- Год издания: 2010
- Первая страница: 37
- Последняя страница: 39
- Аннотация: В статье рассмотрены возможности практического использования атомно-силового микроскопа SMENA-A компании НТ-МДТ (г. Зеленоград) для исследования материалов электронной техники, показаны широчайшие возможности этого прибора для исследований тонких пленок, нанопорошков, гетерогенных наноструктур, изучения топологии поверхности, электрических и магнитных свойств, механических характеристик in situ на образцах практически любого размера и геометрии.
- Добавил в систему: Каминская Татьяна Петровна