|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОК ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИстатья
- Авторы: Епифанов Г.И., Кнаб О.Д., Кондрашов П.Е., Мироненко Л.С., Фролов В.Д.
- Сборник: Труды 7 Международной конференции по ионной имплантации в полупроводники и другие материалы
- Год издания: 1983
- Место издания: Вильнюс
- Первая страница: 168
- Аннотация: Рассмотрено влияние ионного облучения на изменение характеристик фото- и электронорезистов, нанесенных на фотошаблоны
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич