Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Techniques for analyzing digital elevation models of surface topography of microelectronics objects
статья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 апреля 2022 г.
Авторы:
Dedkova A.A.
,
Florinsky I.V/
,
Djuzhev N.A.
Сборник:
International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021
Серия:
Proceedings of SPIE
Том:
12157
Год издания:
2022
Место издания:
SPIE
Номер статьи:
121571K
DOI:
10.1117/12.2623908
Добавил в систему:
Флоринский Игорь Васильевич