Аннотация:Разработаны методики получения и очистки диметилди(аллиламино)силана, этилди(аллиламино)силана и метилтри(аллиламино)силана. Индивидуальность и строение соединений подтверждены данными элементного анализа, ИК и ЯМР 1Н, 13C, 29Si спектроскопии. По данным тензиметрии, полученные соединения обладают достаточной летучестью и термической устойчивостью для использования в качестве исходных веществ при получении пленок методом химического осаждения из газовой фазы. Найдены термодинамические характеристики процесса испарения. Методом термодинамического моделирования определен состав и температурные границы возможных фазовых комплексов в равновесии с газовой фазой. Этилди(аллиламино)силан был использован для получения высокопрозрачных пленок гидрогенизированного карбонитрида кремния методом плазмохимического осаждении из газовой фазы.