|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Синтез и свойства полимеров для антиотражающих покрытий в ArF-фотолитографиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Малков Г.В., Кузнецова Н.А., Грибов Б.Г., Курбатов В.Г., Ваганов Е.В., Комендант Р.И., Беклемышев В.И., Варламов Д.А., Щербаков Н.А., Бадамшина Э.Р.
- Журнал: Наноиндустрия
- Том: 13
- Номер: 4s
- Год издания: 2020
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 197
- Последняя страница: 198
- DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.4s.197.198
- Добавил в систему: Малков Георгий Васильевич