Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Химические основы разработки антиотражающих покрытий для микроэлектроники современного уровня
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Авторы:
Кузнецова Н.А.
,
Малимоненко Н.В.
,
Билданов М.А.
,
Грибов Б.Г.
,
Варламов Д.А.
,
Малков Г.В.
Журнал:
Наноиндустрия
Том:
13
Номер:
4s
Год издания:
2020
Издательство:
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
199
Последняя страница:
201
DOI:
10.22184/1993-8578.2020.13.4s.199.201
Добавил в систему:
Малков Георгий Васильевич