Эпитаксиальный карбид кремния на кремнии. Метод согласованного замещения атомовстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus