|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Ion energy-distribution function features in RF discharge near-electrode sheathsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 мая 2015 г.
- Авторы: Mukhovatova AV, Popov AM, Rakhimova TV
- Журнал: Plasma Physics Reports
- Том: 20
- Номер: 12
- Год издания: 1994
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 981
- Последняя страница: 988
- Добавил в систему: Попов Александр Михайлович