|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Угловые распределения атомов при распылении кремния ионами аргона низких энергийстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Патракеев А.С., Черныш В.С., Шульга В.И.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 8
- Год издания: 2003
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 18
- Последняя страница: 22
- Добавил в систему: Шульга Владимир Иванович