Влияние толщины диэлектрической подложки на поглощающие и просветляющие свойства ультратонких пленок меди

Андреев, В.Г.; Вдовин, В.А.; Глазунов, П.С.; Пятайкин, И.И.; Пинаев, Ю.В.

Авторы: Андреев В.Г., Вдовин В.А., Глазунов П.С., Пятайкин И.И., Пинаев Ю.В.
Журнал: Оптика и спектроскопия
Том: 130
Номер: 9
Год издания: 2022
Первая страница: 1410
Последняя страница: 1416
DOI: 10.21883/OS.2022.09.53304.3539-22
Аннотация: Изучена зависимость оптических коэффициентов ультратонких пленок меди толщиной 2 – 30 nm от толщины подложек. Плёнки изготавливались на кварцевых подложках толщиной 4 mm, а толщина подложек (6 и 8 mm) варьировалась путём плотного прижатия чистых подложек с толщинами 2 и 4 mm к 4-mm подложке с плёнкой. Измерения проведены в волноводе в диапазоне частот 8.5 – 12.5 GHz на моде TE10 для двух ориентаций плёнки по отношению к направлению падающей волны. Зависимости оптических коэффициентов, измеренные при падении волны со стороны плёнки и со стороны подложки, существенно отличаются. Показано, что эффект аномально высокого поглощения волн (более 77%) плёнками меди толщиной не более 10 nm наблюдается в широкой полосе частот. Максимальное поглощение (77.5%) зарегистрировано на частоте 8.5 GHz при падении волны на плёнку толщиной 8.6 nm со стороны 6-mm подложки. Впервые зарегистрирован эффект экстремально малого отражения (0.06%) при падении волны частоты 11.54 GHz на плёнку толщиной 7.9 nm со стороны 4-mm подложки. Показано, что частотный диапазон, где наблюдался эффект минимального отражения, превышает полосу просветления диэлектрической пластины с полуволновым резонансом.
Добавил в систему: Андреев Валерий Георгиевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИПМех РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ИПМех РАН

Влияние толщины диэлектрической подложки на поглощающие и просветляющие свойства ультратонких пленок медистатья

Прикрепленные файлы