|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Possibilities of metrological systems of atomic force microscopy for research, development and control of parameters of micro and nanoelectronic productsтезисы доклада
- Авторы: Bykov V.A., Bykov A.V., Bobrov Y.A., Kotov V.V., Leesment S.I., Polyakov V.V.
- Сборник: МЭС-2020
- Тезисы
- Год издания: 2020
- Место издания: FSFIS Institute for Design Problems in Microelectronics RAS
- Первая страница: 187
- Последняя страница: 192
- DOI: 10.31114/2078-7707-2020-4-187-192
- Добавил в систему: Никишин Игорь Игоревич