|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Распыление полупроводников A3B5 газовыми кластерными ионамитезисы доклада
- Авторы: Иешкин А.Е., Киреев Д.С., Сенатулин Б.Р., Скрылева Е.А.
- Сборник: 51-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Тезисы
- Год издания: 2022
- Первая страница: 196
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич