|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Технология создания реперных отметок на поверхности пиролитического графитастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Гуляев П.В., Шушков А.А.
- Журнал: Химическая физика и мезоскопия
- Том: 24
- Номер: 3
- Год издания: 2022
- Издательство: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Удмуртский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук"
- Местоположение издательства: Ижевск
- Первая страница: 312
- Последняя страница: 318
- DOI: 10.15350/17270529.2022.3.25
- Аннотация: В настоящей работе рассмотрено применение наномаркировки для позиционирования зондав сканирующей зондовой микроскопии. Особенностью представленных исследований является то, чтоони выполнены на высокоориентированном пиролитическом графите, широко используемом в качествеподложки для наноструктур. Для маркировки использовался наноиндентор Берковича и нанотвердомерNanotest-600. Предварительные исследования показали, что при нанесении маркировки некоторыеотпечатки могут иметь уменьшенные геометрические размеры. Показано, что на поверхностипирографита могут присутствовать локальные зоны повышенной и пониженной твердости, сравнимые сразмерами отпечатков. Приведены детальные изображения отпечатков, полученных в различных зонахподложки. Установлено, что возможно появление отпечатков со значительным вспучиванием материала.Построены характеристики нагрузка-разгрузка в зоне с неустойчивыми отпечатками. Описано влияниевспучивания и отслоений материала на характеристики нагрузка-разгрузка и глубину отпечатка.Показано, что несколько циклов нагрузка-разгрузка позволяют повысить отчетливость отпечатка.Выполнены сравнительные исследования маркировки, полученной однократным и многократныминдентированием в каждой точке. Профилометрия отпечатков, выполненная с помощью сканирующегозондового микроскопа, показала большую площадь и глубину отпечатков, полученных многократныминдентированием.
- Добавил в систему: Гуляев Павел Валентинович