|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Helium electron beam rf plasma for low-k surface functionalizationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2023 г.
- Авторы: Voronina E.N., Sycheva A.A., Solovykh A.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Palov A.P., Rakhimov A.T.
- Журнал: Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
- Том: 40
- Номер: 6
- Год издания: 2022
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 14
- Номер статьи: 062203
- DOI: 10.1116/6.0002006
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна