Аннотация:Рассмотрены три метода получения регулярных пористых структур в полимерных пленках полиэтилентерефталата. Пленку облучали синхротронным излучением на станции рентгеновской литографии через маску на базе танталовой мембраны перпендикулярно ее поверхности с последующим химическим травлением зон деструкции. Для формирования регулярных пористых структур использовали метод травления полимера сфокусированным ионным пучком в растровом электронном микроскопе. Применение данного метода позволяет варьировать диаметр формируемых каналов, расстояния между ними и исключает процесс химического травления деструктурированного полимера, что обеспечивает более гладкую поверхность пор. Поры формировали с использованием наносекундного и фемтосекундного лазерного излучения в режиме нелинейного поглощения. Для фемтосекундного и наносекундного источников были подобраны оптимальные параметры лазерного воздействия на образцы пленок, приводящие к формированию сквозных отверстий за однократный лазерный импульс.