|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Технология и термомеханика при выращивании трубчатых монокристаллов кремниястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Верезуб Н.А., Кожитов Л.В., Кондратенко Т.Т., Простомолотов А.И., Силаев И.В.
- Журнал: Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники
- Том: 25
- Номер: 3
- Год издания: 2022
- Издательство: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС»
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 202
- Последняя страница: 213
- Переводные версии: Technology and thermomechanics in growing tubular silicon single crystal
- DOI: 10.17073/1609-3577-2022-3-202-213
- Аннотация: Рассмотрена проблема выращивания высокоомных малодислокационных труб-чатых монокристаллов кремния для непланарных технологий изготовления эпитаксиальныхp—n-переходов и производства силовых полупроводниковых приборов нового поколения.Обсуждены возможности выращивания объемных профилированных кристаллических изделийметодом Степанова, применение которого основано на использовании формообразователейразличных конструкций. В том числе, обсуждены недостатки применения формообразователей,связанные с загрязнением расплава инородными частицами и примесями. Основное вниманиеуделено применению оборудования, реализующего кристаллический рост из расплава безформообразователя по методу Чохральского. Дан предварительный анализ процессов тер-момеханики применительно к существующему и хорошо отлаженному процессу выращиванияметодом Чохральского поликристаллических сильно дислокационных кремниевых труб большогодиаметра для эпитаксиальных реакторов. Отмечено, что для выращивания трубчатых малодис-локационных монокристаллов кремния малого диаметра требуется существенная модернизациястандартного теплового узла, которая в данной работе реализована применительно к установке«РЕДМЕТ-10» для метода Чохральского. С помощью компьютерного моделирования проведен
- Добавил в систему: Верезуб Наталия Анатольевна
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | MET_03_2022_St_1689.pdf | 896,4 КБ | 15 ноября 2022 [naverezub] |