|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Нанесение аморфного металлического покрытия на полые стеклянные микросферыстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Паль А.Ф., Рябинкин А.Н., Серов А.О.
- Журнал: Письма в "Журнал технической физики"
- Том: 48
- Номер: 6
- Год издания: 2022
- Издательство: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 44
- DOI: 10.21883/PJTF.2022.06.52212.19120
- Аннотация: С помощью магнетронного распыления на постоянном токе получены аморфные и кристаллические металлические покрытия Pt-Zr на стеклянных полых тонкостенных сферах с диаметром в субмиллиметровом диапазоне при средней скорости нанесения 0.1 nm/s. Шероховатость полученных аморфных покрытий значительно ниже, чем у кристаллических покрытий того же состава, и находится в диапазоне 1-1.5 nm. Ключевые слова: металлические стекла, аморфные металлические пленки, магнетронное распыление, стеклянные микросферы, мишени для инерциального синтеза.
- Добавил в систему: Рябинкин Алексей Николаевич